实验级三温区管式炉的日常维护要点

实验级三温区管式炉采用了控制单元和炉膛一体化设计。整体双层风冷结构设计，使表面温度保持在60℃以下。炉膛本身采用了高纯氧化铝微晶纤维高温真空吸附成型，加热元件为电阻丝。散热系统采用双层风冷结构，炉体表面温度≤60℃。真空腔室采用石英管材质，其贯穿整个炉体，炉管两端选用不锈钢法兰密封，可在真空或气氛环境下工作。加热元件与炉管平行，均匀的分布在炉管外，有效地保证了温场的均匀性。采用宇电AI-3756P触摸屏控温仪/AI-516P智能控制仪和K型热电偶，可编程30段程序控温，控温精度±3℃。

应用场景：

主要用于：

高温CVD工艺（如碳纳米管制备）‌；

金属扩散焊接、晶体硅基板镀膜‌；

新材料烧结及气氛保护热处理。

日常维护要点‌：

‌清洁保养‌：

每次使用后清除炉管残留样品，避免化学腐蚀；石英管析晶（＞1000℃发白）属正常现象‌。

每月检查热电偶接线、机械泵油位，及时更换老化密封圈‌。

‌设备存放‌：

关闭电源和气阀，炉体置于通风干燥处，远离易燃物，预留20cm散热空间‌。

长期停用需抽真空或充惰性气体保护炉管‌。