19856658785
产品中心
详细介绍
| 品牌 | 科幂仪器 | 升温速度（达到最高温） | ≤10℃//min |
|---|---|---|---|
| 内部尺寸 | Φ80*220mmmm | 加热方式 | 电阻丝 |
| 最大功率 | 3KkW | 控温精度 | ±1℃ |
| 最高温度 | 1200℃ | 价格区间 | 面议 |
| 仪器种类 | 管式炉 | 产地类别 | 国产 |
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,钢铁/金属,综合 |
单温区PE-CVD系统采用高性能射频电源，等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；
可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低。
型号：TFE - 1200 - 50 - 220
设计温度：1150℃（短期）
额定温度：1100℃
推荐升温速率：≤10℃/min
控制精度：±1℃
炉管尺寸：Φ30/50/60*1200mm
炉膛尺寸：Φ80*220mm
加热区长度：220mm
恒温区长度：80mm
加热元件：优质国产电阻丝
额定功率：3KW
供气系统：
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm（可定制）
射频电源：
①射频功率：5-500W；
②射频频率：13.56MHz；
③匹配方式：自动匹配
真空系统：双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等）
外形尺寸：1250*510*810mm
产品咨询
关注微信
